Während SIMS die Konzentration von Verunreinigungsatomen misst, welche Methode misst die Tiefenverteilung der Konzentration elektrisch aktiver Ladungsträger?

Antwort: C. Elektrische Messungen wie die Ausbreitungswiderstandsmessung (SRP)

Bei der Ausbreitungswiderstandsmessung wird die Probe unter flachem Winkel schräg poliert, um die Tiefenrichtung zu dehnen, und der Widerstand mit zwei nach und nach versetzt aufgesetzten Spitzen gemessen; so ergibt sich die Tiefenverteilung der Ladungsträgerkonzentration. Da SIMS die Atomkonzentration einschließlich nicht aktivierter Verunreinigungen misst, zeigt der Vergleich beider den Aktivierungsgrad. EDX untersucht Elemente, AFM die Form.