Welche Methode wird zur Messung der Konzentration von interstitiellem Sauerstoff in Silizium verwendet?

Antwort: C. Infrarotabsorption (FTIR)

Interstitieller Sauerstoff in Silizium absorbiert durch die Schwingung der Si-O-Si-Bindung Infrarotlicht bei einer Wellenzahl von etwa 1107 cm⁻¹. Durch Messen der Absorptionsstärke mit FTIR lässt sich die Sauerstoffkonzentration zerstörungsfrei bestimmen. Sauerstoff in CZ-Wafern ist für das Gettern nützlich, kann aber bei zu hoher Konzentration durch Ausscheidungen Defekte verursachen, weshalb die Konzentration kontrolliert wird. Sie dient auch zur Messung von substitutionellem Kohlenstoff (etwa 605 cm⁻¹). Mit Vierspitzenmessung und EDX ist die Sauerstoffkonzentration nicht messbar.