Messtechnik und Analytik

Welche Beziehung wird verwendet, um die Spannung einer Schicht aus der Änderung der Waferverbiegung vor und nach der Abscheidung zu bestimmen?

  1. ABlacksche Gleichung
  2. BStoney-Gleichung
  3. CPreston-Gleichung
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Antwort: B. Stoney-Gleichung

Die Stoney-Gleichung σ = Es·hs²/(6(1−νs)hf) × (1/R − 1/R0) liefert die Spannung der Schicht aus Elastizitätsmodul Es, Querkontraktionszahl νs und Dicke hs des Substrats, der Schichtdicke hf und der Änderung der Waferkrümmung vor und nach der Abscheidung. Praktisch ist, dass die elastischen Konstanten der Schicht nicht bekannt sein müssen; die Waferverbiegung wird über die Reflexion eines Laserstrahls gemessen und die Spannung bewertet. Die Blacksche Gleichung gilt für Elektromigration, die Preston-Gleichung für die Abtragsrate beim CMP.

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