Welche Methode verhindert bei der SEM-Beobachtung isolierender Proben die Aufladung (Charging)?

Antwort: A. Die Beschleunigungsspannung wird gesenkt, oder die Probenoberfläche wird mit einem dünnen leitfähigen Film beschichtet

Wird ein Isolator mit einem Elektronenstrahl bestrahlt, kann die Ladung nicht abfließen und sammelt sich an, wodurch das Bild verzerrt wird oder die Helligkeit gestört ist. Bei niedrigerer Beschleunigungsspannung gleichen sich die Zahl einfallender Elektronen und austretender Sekundärelektronen leichter aus, und die Aufladung nimmt ab. Weitere Möglichkeiten sind das Aufbringen eines dünnen leitfähigen Films aus Gold oder Kohlenstoff auf die Probenoberfläche und die Beobachtung unter Niedrigvakuum, bei dem Gasmoleküle die Ladung neutralisieren. Höhere Beschleunigungsspannung verschlechtert die Aufladung eher, und eine Probe in Wasser lässt sich im Vakuum nicht beobachten.