Messtechnik und Analytik

Wie heißt die Messung, bei der Produktwafer mitten im Prozess in der Fertigungslinie gemessen werden, um den Prozess zu überwachen?

  1. AInline-Messung
  2. BOffline-Messung
  3. CZerstörende Analyse
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Antwort: A. Inline-Messung

Inline-Messung misst mit in die Fertigungslinie eingebauten Messgeräten Schichtdicke, Maße, Overlay, Fehler usw. von Produktwafern mitten im Prozess. Anomalien werden früh erkannt, damit keine fehlerhaften Produkte in nachfolgende Prozesse gelangen, und die Ergebnisse können auch zur Korrektur der Anlagenbedingungen verwendet werden. Es kommen zerstörungsfreie Verfahren zum Einsatz, die das Produkt nicht beschädigen. Zu unterscheiden sind die Offline-Messung, bei der Proben aus der Linie genommen und genauer untersucht werden, und die zerstörende Analyse, bei der die Probe zerstört wird.

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