Welche Inspektion erkennt Kontaktdurchgangsfehler u. Ä. anhand von Helligkeitsunterschieden durch unterschiedliche Aufladung bei Elektronenbestrahlung?

Antwort: B. Potenzialkontrast-Inspektion (Voltage Contrast)

Bei Elektronenbestrahlung laden sich elektrisch mit dem Substrat verbundene Kontakte nicht auf, da die Ladung abfließt, während unterbrochene, schwebende Kontakte sich aufladen. Je nach Aufladung ändert sich die Menge austretender Sekundärelektronen, was sich als Helligkeitsunterschied zeigt. Mit diesem Potenzialkontrast lassen sich von der Oberfläche aus nicht sichtbare unvollständige Kontaktöffnungen und Leitungsunterbrechungen erkennen; er wird mit Elektronenstrahl-Inspektionsanlagen auch in Serienfertigungslinien genutzt.