什麼是橫向磊晶成長(ELO)

從遮罩的開口處成長晶體,並在遮罩上方朝橫向擴展的成長方法。下層的差排不易傳到遮罩上方的部分,可減少GaN等的差排。

日文名稱: 横方向エピタキシャル成長(ELO)

這個名詞所屬的領域: 磊晶成長

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