スパイクアニール란?

すぱいくあにーる

ウエハを急速に高温まで上げ、その温度にほとんど保持せずにすぐ下げる熱処理。不純物の拡散を抑えながら活性化でき、浅い接合の形成に使われる。

일본어 명칭: スパイクアニール

분야: 이온 주입