將使用過的監控晶圓表面的膜等去除，重新拋光後可再次使用的晶圓，稱為什麼？

正確答案：B. 再生晶圓

監控晶圓與假片晶圓(dummy wafer)在工廠中大量使用，所以使用後會以蝕刻或拋光去除表面的膜與汙染，再次做成鏡面後重複使用。這就是再生晶圓，比新品便宜，也能節省資源。一片可再生數次，每次都會稍微變薄。也有專門從事再生的公司，確實去除金屬汙染是品質的關鍵。