磊晶成長 在GaN等材料中,從遮罩的開口處成長晶體,並使其在遮罩上方橫向成長以減少差排的技術稱為什麼? A橫向磊晶成長(ELO) BALD CCMP 查看答案與解析 正確答案:A. 橫向磊晶成長(ELO) 在ELO中,於SiO2等遮罩上設置條紋狀的開口,從開口成長的晶體在遮罩上方橫向擴展並合併。由於從基板向上延伸的差排會被遮罩阻擋,遮罩上方區域的差排密度可降低數個數量級。1990年代後半,它被用來大幅延長GaN系藍紫色雷射的壽命,目前也已開發出不使用遮罩的衍生技術。