磊晶成長

在GaN等材料中,從遮罩的開口處成長晶體,並使其在遮罩上方橫向成長以減少差排的技術稱為什麼?

  1. A橫向磊晶成長(ELO)
  2. BALD
  3. CCMP
查看答案與解析

正確答案:A. 橫向磊晶成長(ELO)

在ELO中,於SiO2等遮罩上設置條紋狀的開口,從開口成長的晶體在遮罩上方橫向擴展並合併。由於從基板向上延伸的差排會被遮罩阻擋,遮罩上方區域的差排密度可降低數個數量級。1990年代後半,它被用來大幅延長GaN系藍紫色雷射的壽命,目前也已開發出不使用遮罩的衍生技術。

練習這個領域 前往領域頁面

磊晶成長的其他題目

  1. 從熔融金屬的溶液等使晶體在基板上析出而成長的方法為下列何者?
  2. 使用三氯矽烷的矽磊晶成長,其一般成長溫度最接近下列何者?
  3. 在晶格常數較大且已鬆弛的SiGe層上磊晶成長薄矽層時,矽層中產生的應變為下列何者?
  4. 磊晶晶圓的品質中,主要管理的項目為下列何者?
  5. 在SiC磊晶成長中,使用從晶軸傾斜數度(具有偏角)的基板,其主要理由為下列何者?