横方向エピタキシャル成長(ELO)란?
よこほうこうえぴたきしゃるせいちょう
マスクの開口部から結晶を成長させ、マスクの上を横方向に広げる成長法。マスクの上の部分には下の層の転位が伝わりにくく、GaNなどの転位を減らせる。
일본어 명칭: 横方向エピタキシャル成長(ELO)
분야: 에피택셜 성장
관련 용어
4H-SiC 格子不整合 貫通転位 臨界膜厚 選択エピタキシャル成長 積層欠陥 超格子 HVPE(ハイドライド気相成長) MBE(分子線エピタキシー) MOCVD(有機金属気相成長)
よこほうこうえぴたきしゃるせいちょう
マスクの開口部から結晶を成長させ、マスクの上を横方向に広げる成長法。マスクの上の部分には下の層の転位が伝わりにくく、GaNなどの転位を減らせる。
일본어 명칭: 横方向エピタキシャル成長(ELO)
분야: 에피택셜 성장
4H-SiC 格子不整合 貫通転位 臨界膜厚 選択エピタキシャル成長 積層欠陥 超格子 HVPE(ハイドライド気相成長) MBE(分子線エピタキシー) MOCVD(有機金属気相成長)