DZ(無欠陥層)란?
でぃーぜっと
熱処理で表面付近の酸素を外に拡散させ、ウエハの表面に作る酸素析出物などの欠陥が少ない層。デバイスはこの層につくり、内部の析出物はゲッタリングに使う。
일본어 명칭: DZ(無欠陥層)
분야: 실리콘 웨이퍼
관련 용어
結晶方位 酸素析出物(BMD) 偏析係数 CZ法(チョクラルスキー法) FZ法(フローティングゾーン法) MCZ法(磁場印加CZ法) SOIウエハ インゴット ウエハのノッチ ゲッタリング
でぃーぜっと
熱処理で表面付近の酸素を外に拡散させ、ウエハの表面に作る酸素析出物などの欠陥が少ない層。デバイスはこの層につくり、内部の析出物はゲッタリングに使う。
일본어 명칭: DZ(無欠陥層)
분야: 실리콘 웨이퍼
結晶方位 酸素析出物(BMD) 偏析係数 CZ法(チョクラルスキー法) FZ法(フローティングゾーン法) MCZ法(磁場印加CZ法) SOIウエハ インゴット ウエハのノッチ ゲッタリング