臨界膜厚란?

りんかいまくあつ

格子定数の異なる層をヘテロエピタキシャル成長させるとき、転位を発生させずにひずみを保ったまま成長できる最大の膜厚。これを超えるとミスフィット転位が入る。

일본어 명칭: 臨界膜厚

분야: 에피택셜 성장