近似表示離子佈植後雜質深度方向分布的分布，與表示其峰值深度的量，下列何組搭配正確？

正確答案：B. 高斯分布，峰值的深度稱為投影射程（Rp）

離子佈植的雜質分布近似為高斯分布，峰值深度以投影射程Rp表示，展寬則以標準差ΔRp表示。峰值濃度大約可用「劑量 ÷ (2.5 × ΔRp)」估算。Rp與ΔRp由加速能量以及離子與基板的種類決定，並有現成的表可查。實際上分布會呈左右不對稱，或因通道效應使尾部向深側延伸，因此會使用更精密的分布函數或模擬。