下列關於吸附(gettering)的說明，哪一項是正確的？

正確答案：B. 將有害的金屬雜質捕捉到遠離元件形成區域之處的技術

吸附(gettering)是把會劣化元件特性的鐵、銅、鎳等金屬雜質，聚集並捕捉到遠離表面元件區域的晶圓內部或背面的缺陷等處的技術。金屬會造成漏電流增加與氧化膜劣化，即使只有10¹⁰ atoms/cm²左右的微量汙染也會成為問題。吸附有兩種：利用晶圓內部氧析出物的本質吸附(intrinsic gettering)，以及在背面設置加工應變或多晶膜的非本質吸附(extrinsic gettering)。