CMOS LSI用的矽晶圓，一般使用的晶面方位是哪一種？

正確答案：B. (100)

CMOS LSI一般使用(100)面的晶圓。因為(100)面表面每個原子的懸鍵較少，與SiO2的界面之界面態密度約為(111)面的1/10，較低，所以臨界電壓穩定，MOS電晶體的特性良好。電子遷移率也是(100)面較高。(111)面的氧化速度快，過去用於雙載子元件等。