關於矽晶圓的電阻率與所摻雜質濃度的關係，下列哪一項是正確的？

正確答案：C. 雜質濃度越高，電阻率越低

摻入越多雜質，載子就越多，電阻率因而降低；基於這樣的關係，晶圓的電阻率會作為雜質濃度的參考而指定於規格中。例如p型1〜10 Ω·cm時，硼約為10¹⁵ cm⁻³等級，0.01 Ω·cm時約為10¹⁹ cm⁻³。濃度變高時，遷移率會因離子化雜質散射而下降，所以並非單純的反比關係，需使用ASTM等的換算表來轉換。