실리콘 웨이퍼
게터링에 대한 설명으로 올바른 것은?
- A웨이퍼를 얇게 깎는 가공
- B유해한 금속 불순물을 디바이스를 만드는 영역에서 떨어진 곳에 포획하는 기술
- C여러 장의 웨이퍼를 접합하는 기술
정답과 해설 보기
정답: B. 유해한 금속 불순물을 디바이스를 만드는 영역에서 떨어진 곳에 포획하는 기술
게터링은 디바이스 특성을 해치는 철, 구리, 니켈 등의 금속 불순물을 표면의 디바이스 영역에서 떨어진 웨이퍼 내부나 뒷면의 결함 등에 모아 붙잡는 기술입니다. 금속은 누설 전류 증가와 산화막 열화의 원인이 되며, 10¹⁰ atoms/cm² 정도의 미량 오염으로도 문제가 됩니다. 웨이퍼 내부의 산소 석출물을 이용하는 인트린식 게터링과, 뒷면에 가공 변형이나 다결정막을 만드는 익스트린식 게터링이 있습니다.