關於用於設備腔體清潔等的三氟化氯（ClF3）的特徵，下列何者正確？

正確答案：B. 反應性非常高，會與許多物質劇烈反應，因此需要嚴格處理

ClF3的反應性非常高，即使不使用電漿也能蝕刻許多物質，因此用於就地清除磊晶設備等腔體內附著物的清潔。相對地，它會與有機物或許多金屬劇烈反應而起火，毒性也高，因此在材料選用與洩漏對策上要嚴格執行。它既不具惰性也非無害，反應性高正是其用途與危險的共同原因。