廣泛用於熱處理爐的反應管或載放晶圓的治具，且純度高、耐熱性優異的材料為下列何者？

正確答案：B. 石英玻璃

石英玻璃純度高，軟化點高達約1600 ℃，熱膨脹係數非常小，約0.5×10⁻⁶ /K，因此即使溫度急遽變化也不易破裂，對許多化學品的耐受性也很好。因此用於熱處理爐的反應管、晶舟、CZ法的坩堝等。在需要更高溫強度或更長壽命的構件上，也會使用SiC。聚乙烯不耐熱，銅則會造成金屬汙染。