ArF 액침 노광에서 포토레지스트 위에 도포하여 액침수와 레지스트가 직접 닿지 않게 하는 막은 무엇입니까?

정답: C. 탑코트

액침 노광에서는 렌즈와 웨이퍼 사이의 물이 레지스트에 닿기 때문에, 광산 발생제 등이 물에 녹아 나와 렌즈를 오염시키거나 물이 스며들어 패턴 결함을 일으킬 우려가 있습니다. 탑코트는 레지스트 위에 도포하는 보호막으로, 이를 방지하고 스테이지의 고속 이동에도 물이 남지 않도록 표면을 발수성으로 만듭니다. BARC는 레지스트 아래에 까는 반사 방지막, 펠리클은 마스크를 보호하는 얇은 막입니다.