半導體物性

關於矽中電子與電洞遷移率的比較,下列何者正確?

  1. A電子的遷移率較大
  2. B電洞的遷移率較大
  3. C兩者永遠相等
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正確答案:A. 電子的遷移率較大

在矽中,室溫、低雜質濃度下電子的遷移率約為1400 cm²/V·s,電洞約為450 cm²/V·s,電子約大3倍,主要原因是電洞的有效質量較大。因此在相同尺寸下,nMOS能通過較大的電流,CMOS中基本做法是將pMOS的閘極寬度設為nMOS的2~3倍,以使驅動能力相當。先進製程則利用SiGe造成的壓縮應變來提高pMOS的遷移率。

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