封裝與構裝

為了讓封裝變薄,在切割之前研磨晶圓背面使其變薄的製程稱為什麼?

  1. A背面研磨(backgrind)
  2. BCMP
  3. C回蝕(etch back)
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正確答案:A. 背面研磨(backgrind)

背面研磨是在以保護膠帶保護晶圓表面的同時,以旋轉的砂輪研磨背面,將約750 µm左右的厚度磨薄到指定厚度。在堆疊晶片的記憶體等產品中,也會薄到數十µm。研磨產生的損傷層會成為破裂的原因,因此以拋光或蝕刻去除。CMP是表面的平坦化,回蝕則是將整面薄膜削除的製程。

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