在晶圓缺陷檢測設備中，與直接觀察圖案影像的明視野方式相比，僅捕捉散射光的暗視野方式，其特徵下列何者正確？

正確答案：A. 能以高靈敏度偵測來自異物等的散射光，容易高速檢測廣大範圍

暗視野方式不接收正反射的光，只捕捉被異物或缺陷散射的光，因此背景暗、小異物明亮地浮現，可高速檢測廣大範圍。明視野方式以反射光直接擷取圖案的影像，擅長偵測圖案形狀的缺陷，但檢測較慢。因此異物的監控使用暗視野，新製程的詳細評估則使用明視野，加以區分運用。

• A. 正確。能以散射光高靈敏度且高速地偵測異物。
• B. 對於圖案形狀的缺陷等，明視野有時較為優異。
• C. 暗視野是適合偵測異物的方式。