由設備的感測器資料等，以統計模型預測實際未量測之晶圓的膜厚或尺寸的手法，稱為什麼？

正確答案：C. 虛擬量測（virtual metrology）

虛擬量測是將處理中設備的溫度、壓力、功率等感測器資料與過去量測結果之間的關係，以機器學習等建立模型，來預測未量測晶圓的結果的手法。即使不全數量測也能推估製程的狀態，有助於異常的早期偵測，以及逐片晶圓補正條件的控制。不過，設備狀態改變時模型會產生偏差，因此需定期以實際量測加以確認。

• A. 破壞性檢測是破壞試片來調查的方法。
• B. 外觀檢測是調查外表異常的檢測。
• C. 正確。是由感測器資料預測量測值的手法。