계측과 분석

성막 전후의 웨이퍼 휨 변화로부터 막의 응력을 구할 때 사용되는 관계식은?

  1. A블랙의 식
  2. B스토니의 식
  3. C프레스턴의 식
정답과 해설 보기

정답: B. 스토니의 식

스토니의 식은 σ=Es·hs²/(6(1−νs)hf)×(1/R−1/R0)와 같이, 기판의 영률 Es·푸아송비 νs·두께 hs, 막의 두께 hf, 그리고 성막 전후 웨이퍼의 곡률 변화로부터 막의 응력을 구하는 식입니다. 막의 탄성 상수를 몰라도 된다는 점이 편리하며, 웨이퍼의 휨을 레이저 반사로 측정하여 응력을 평가합니다. 블랙의 식은 일렉트로마이그레이션, 프레스턴의 식은 CMP의 연마 속도에 관한 식입니다.

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