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레지스트 아래에 도포하는 반사 방지막(BARC)의 주된 목적은?

  1. A식각을 빠르게 한다
  2. B하지에서 반사된 빛에 의한 레지스트 내 정재파와 치수 편차를 억제한다
  3. C레지스트와 웨이퍼를 접착한다
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정답: B. 하지에서 반사된 빛에 의한 레지스트 내 정재파와 치수 편차를 억제한다

노광광이 레지스트를 통과하여 하지에서 반사되면, 입사광과 간섭하여 레지스트 안에 정재파(세로 방향의 줄무늬)가 생기거나, 레지스트 두께의 미세한 차이로 흡수되는 빛의 양이 주기적으로 변해 치수가 흔들리거나(스윙 커브), 하지의 단차에서 비스듬히 반사된 빛이 패턴을 가늘게 만들기도 합니다. BARC는 유기 또는 무기 흡수막으로 하지에서의 반사를 1% 이하로 억제하여 치수 정밀도를 높입니다.

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