微影 加大曝光機的數值孔徑（NA）時，焦深（DOF）一般會如何變化？ A變深 B變淺 C不變 查看答案與解析 正確答案：B. 變淺 焦深為 DOF = k2·λ/NA²，與NA的平方成反比，因此加大NA時焦深會急遽變淺。先進曝光的焦深只有約100 nm，對晶圓的平坦度、圖案的高低差，以及光阻厚度的變異都要求更加嚴格。這也是CMP平坦化之所以重要的原因之一。曝光機會針對每個曝光區（shot）量測晶圓的高度與傾斜，並自動調整透鏡的焦點來因應。