微影中的疊對（overlay）精度是指什麼？

正確答案：B. 相對於前一道製程所做出的圖案，新圖案能被疊在多正確的位置上

LSI是由數十層圖案堆疊而成，每一層都必須與前一層正確對位，其偏差的小程度就是疊對精度。一般要求達到線寬的1/4至1/5左右，先進產品則需在數nm以下（相當於十幾個原子）。曝光機會以晶圓上的對準標記量測位置、旋轉與伸縮並加以修正，同時把熱造成的光罩與晶圓變形，以及前段製程產生的應變一併納入計算來進行對位。