相位移光罩的目的，下列何者正確？

正確答案：A. 改變通過相鄰開口部之光的相位，利用干涉來提高解析度與對比

相位移光罩會讓通過光罩部分區域的光相位偏移180°，使來自相鄰圖案的光在交界處的振幅相互抵消，讓暗部更暗，並提高圖案邊界的對比。有將相鄰圖案的相位交替反轉的雷文森型（Levenson），以及將遮光部做成會讓少量光穿透的相位反轉膜（如MoSi等）的半色調型（half-tone），其中半色調型廣泛用於ArF曝光。