微影
關於OPC（光學鄰近效應修正）的說明，下列何者正確？
- A將光阻塗厚以提高解析度
- B清洗光罩以去除異物
- C事先修正光罩圖案，以縮小轉印後形狀的偏差
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正確答案：C. 事先修正光罩圖案，以縮小轉印後形狀的偏差
在接近解析極限的圖案中，由於光的繞射與干涉，線條的端點會縮短（線端內縮）、轉角會變圓，線寬也會隨周圍圖案的密度而改變。OPC會藉由模擬預先估算這些變形，在光罩圖案的邊緣加上錘頭（hammerhead）、襯線（serif）等輔助圖形，或精細調整尺寸。先進光罩的OPC運算會動用大規模的電腦。