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노광 장비의 개구수(NA)를 크게 하면 초점 심도(DOF)는 일반적으로 어떻게 되는가?

  1. A깊어진다
  2. B얕아진다
  3. C변하지 않는다
정답과 해설 보기

정답: B. 얕아진다

초점 심도는 DOF = k2·λ/NA²이며 NA의 제곱에 반비례하므로, NA를 크게 하면 급격히 얕아집니다. 첨단 노광에서는 100 nm 전후에 불과하여 웨이퍼의 평탄성, 패턴의 단차, 레지스트 두께의 편차가 더 엄격하게 요구됩니다. CMP에 의한 평탄화가 중요한 이유 중 하나입니다. 노광 장비는 샷마다 웨이퍼의 높이와 기울기를 측정하고 렌즈의 초점을 자동으로 맞추어 대응합니다.

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