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EUV 노광에서 사용하는 빛의 파장은?

  1. A193 nm
  2. B248 nm
  3. C13.5 nm
정답과 해설 보기

정답: C. 13.5 nm

EUV(극자외선) 노광은 파장 13.5 nm의 빛을 사용하며, ArF의 약 1/14 파장으로 미세한 패턴을 1회 노광으로 형성할 수 있습니다. 이 파장의 빛은 공기나 유리를 포함한 대부분의 물질에 흡수되므로, 렌즈 대신 몰리브덴과 실리콘 다층막 거울에 의한 반사 광학계를 사용하고 장비 내부를 진공으로 합니다. 거울 1장의 반사율은 약 70%이며 10장 가까이 거치면 빛의 대부분이 손실되므로 강한 광원이 필요합니다.

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