先進電晶體（FinFET與GAA）
奈米片型 GAA 電晶體中的「奈米片」所指為何，下列何者正確？
- A保護晶片的片狀薄膜
- B厚度數 nm 的薄板狀矽通道，上下堆疊使用
- C用於閘極絕緣膜的薄金屬板
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正確答案：B. 厚度數 nm 的薄板狀矽通道，上下堆疊使用
奈米片是厚度約 5 nm、寬度十幾至數十 nm 的薄板狀矽通道，將約 3 片上下堆疊，每一片都由閘極從整個外圍包覆。其結構如同把 FinFET 的鰭片橫躺後堆疊起來，可藉由薄片的寬度調整電流量。薄片的間隔約 10 nm，需要在該空隙中填入閘極絕緣膜與閘極金屬的高階成膜技術。
- A. 並不是保護用的薄膜。
- B. 正確。是堆疊的薄板狀通道。
- C. 閘極絕緣膜是 High-k 等絕緣物，並非金屬板。