先進電晶體(FinFET與GAA)

為了在 FinFET 中充分抑制短通道效應,一般對鰭片寬度的要求為何?

  1. A可與閘極長度無關地決定
  2. B要比閘極長度寬得多
  3. C要比閘極長度更細
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正確答案:C. 要比閘極長度更細

鰭片越細,兩側閘極的電場越能充分到達鰭片中心,可抑制通過離閘極較遠部分的漏電。作為基準,鰭片寬度必須在閘極長度的一半至同等以下,先進世代已細到 5~7 nm 左右。不過,若太細,會出現量子侷限造成的臨界電壓變動、表面散射造成的遷移率下降,以及加工變異等問題。

  • A. 鰭片寬度對短通道效應的抑制影響很大。
  • B. 鰭片過粗時,閘極無法控制中心部分,漏電會增加。
  • C. 正確。將鰭片變細以增強閘極的控制力。
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