先進電晶體（FinFET與GAA）
「High-k 閘極絕緣膜」中的 k 表示什麼？
- A晶體的硬度
- B熱導率
- C相對介電常數（介電常數的大小）
查看答案與解析
正確答案：C. 相對介電常數（介電常數的大小）
High-k 的 k 是相對介電常數，比 SiO2（約 3.9）大的絕緣材料稱為 High-k 材料。代表性的有 HfO2（約 20～25）與 HfSiON，即使實體膜較厚也能獲得大的閘極電容。但介電常數越大的材料，能隙往往越小，須在與漏電的取捨之間做選擇。相反地，在配線之間為了減少電容，會使用相對介電常數小的 Low-k 材料。
- A. 並不是表示硬度的符號。
- B. 並不是表示熱導率的符號。
- C. 正確。k 表示相對介電常數。