磊晶成長

從熔融金屬的溶液等使晶體在基板上析出而成長的方法為下列何者?

  1. A液相磊晶(LPE)
  2. B分子束磊晶(MBE)
  3. C有機金屬氣相沉積(MOCVD)
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正確答案:A. 液相磊晶(LPE)

液相磊晶是使溶有欲成長材料的金屬(GaAs則為鎵)溶液接觸基板,降溫使其過飽和,並使過飽和的部分以晶體析出的方法。由於在接近熱平衡的條件下成長,結晶性良好,且裝置簡單、成長速度快,過去曾廣泛用於紅光・紅外線LED及早期半導體雷射的製造。薄層與陡峭界面的控制則是MOCVD與MBE比較擅長。

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