磊晶晶圓的品質中，主要管理的項目為下列何者？

正確答案：B. 磊晶層的膜厚與電阻率（雜質濃度）、晶體缺陷

磊晶晶圓中，重要的是磊晶層的膜厚與電阻率（雜質濃度）符合規格，且在晶圓面內均勻，例如膜厚與電阻率都管理在±數%以內。此外，也管理堆疊缺陷等晶體缺陷與微粒是否很少、平坦度、金屬污染等。膜厚以FTIR、電阻率以C-V測量等方式進行非破壞量測，缺陷則以雷射散射式的表面檢查裝置計數。