에피택셜 성장
녹인 금속 용액 등에서 기판 위에 결정을 석출시켜 성장시키는 방법은?
- A액상 에피택시(LPE)
- B분자선 에피택시(MBE)
- C유기금속 기상 성장(MOCVD)
정답과 해설 보기
정답: A. 액상 에피택시(LPE)
액상 에피택시는 성장시키려는 재료를 녹인 금속(GaAs라면 갈륨) 용액을 기판에 접촉시키고 온도를 낮추어 과포화된 만큼을 결정으로 석출시키는 방법입니다. 열평형에 가까운 조건에서 성장하므로 결정성이 좋고 장치가 간단하며 성장도 빨라서, 과거에는 적색·적외 LED와 초기 반도체 레이저 제조에 널리 사용되었습니다. 얇은 층이나 가파른 계면의 제어는 MOCVD나 MBE가 더 뛰어납니다.