エピタキシャル成長
溶かした金属の溶液などから、基板の上に結晶を析出させて成長させる方法はどれか。
- A液相エピタキシー(LPE)
- B分子線エピタキシー(MBE)
- C有機金属気相成長(MOCVD)
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正解：A. 液相エピタキシー(LPE)
液相エピタキシーは、成長させたい材料を溶かし込んだ溶液を基板に接触させ、温度を下げて結晶を析出させる方法です。装置が簡単で結晶性のよい膜が得られ、かつては化合物半導体のLEDなどの製造に広く使われました。膜厚の精密な制御は気相成長の方が得意です。