先進技術(3D構裝與小晶片)

形成於晶片或晶圓表面,用來將電極位置引導到外部端子位置的配線層稱為什麼?

  1. A重分佈層(RDL)
  2. BSTI
  3. C埋入氧化層(BOX層)
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正確答案:A. 重分佈層(RDL)

重分佈層(RDL:Redistribution Layer)是將配線從晶片的電極墊拉到想要放置焊錫球等外部端子位置的層,由聚醯亞胺等絕緣膜與銅配線交替堆疊而成。用於晶圓級封裝、扇出型封裝、中介層等,線寬已微縮到數µm至1 µm左右。STI是元件隔離,BOX層是SOI的氧化膜。

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