微細なトランジスタのソース・ドレインに浅い接合をつくるための工夫として正しいものはどれか。

正解：C. 低エネルギーで注入し、ごく短時間で加熱するアニール(スパイクアニールやレーザーアニールなど)を行う

浅い接合をつくるには、まず低エネルギーで浅く注入します。さらに、アニールの際に不純物が拡散して接合が深くならないよう、ごく短時間だけ高温にするスパイクアニールや、ミリ秒以下の加熱ができるフラッシュランプアニール・レーザーアニールなどを使い、拡散を抑えながら活性化させます。