枚葉式洗浄とは
まいようしきせんじょう
ウエハを1枚ずつ処理する洗浄方式。ウエハ間の相互汚染が起こりにくく、条件を1枚ごとに制御しやすい。多数を一度に薬液槽に浸す方式はバッチ式。
この用語の分野: CMP・洗浄
解説の中の「枚葉式洗浄」
枚葉式洗浄では、回転するウエハに薬液をノズルから吹きかけて1枚ずつ処理するため、ほかのウエハから汚染が移りにくく、薬液の温度・流量・時間を1枚ごとに細かく制御でき、表裏や外周を個別に洗うこともできます。
ウエハを1枚ずつ処理する枚葉式洗浄装置の利点として正しいものはどれか。
「枚葉式洗浄」が出てくる問題(1問)
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