イオン注入

プリアモルファス化注入(PAI)の目的として正しいものはどれか。

  1. Aウエハ表面に厚い酸化膜をつくる
  2. BGeなどを注入して表面をアモルファス化し、その後の注入のチャネリングを抑えて浅い接合を得る
  3. C金属汚染を除去する
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正解：B. Geなどを注入して表面をアモルファス化し、その後の注入のチャネリングを抑えて浅い接合を得る

ゲルマニウムやシリコンなどを先に注入して表面を非晶質(アモルファス)にしておくと、結晶の並びがなくなるため、その後に注入するホウ素などのチャネリングが抑えられ、浅い接合をつくれます。アモルファス層はアニールで再結晶化します。

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