CMPで、パッドコンディショニングを強くする(コンディショナを押し付ける力を大きくするなど)と、一般に起こることとして最も適切なものはどれか。

正解：C. パッドの表面の凹凸が保たれて研磨速度は安定しやすいが、パッドが速く減って交換の回数が増える

研磨パッドの表面の細かい凹凸と気孔がスラリーを保持して、研磨を進めます。パッドコンディショニングは、ダイヤモンドの粒を付けたディスクでパッドの表面をわずかに削り、つぶれた凹凸を再生する作業です。強くすると凹凸がよく再生されて研磨速度は安定しやすくなりますが、そのぶんパッドが速く削れます。パッドが減ってスラリーを流す溝が浅くなると研磨の状態が変わるので交換が必要になり、交換のたびに装置を止めることになります。そのため、研磨の安定性と、消耗品のコストや装置の稼働率とのかね合いで条件を決めます。

• A. グレージングは、コンディショニングが足りないときに起こる現象です。
• B. 削る量が増えるので、パッドは速く減り、溝も浅くなっていきます。
• C. 正しい。研磨の安定とパッドの寿命のかね合いで条件を決めます。