バーズビークとは
ばーずびーく
LOCOSで、窒化膜マスクの端の下に酸化膜が鳥のくちばし状に食い込む現象。素子の有効な面積を減らすため、微細化ではSTIに置き換えられた。
この用語の分野: 酸化・拡散
解説の中の「バーズビーク」
かつて主流だったLOCOSは、酸化膜が横方向に食い込むバーズビークで分離の幅を小さくできず、表面にも段差が残るため、0.25 µm世代ごろからSTIに置き換えられました。
微細なLSIの素子分離に主に使われている方法はどれか。LOCOSでは、窒化膜で覆った部分は酸化されませんが、酸化剤が窒化膜の下のパッド酸化膜を通って横から拡散し酸化が進むため、鳥のくちばしのような形に酸化膜が食い込みます(バーズビーク)。
LOCOS(選択酸化)で、窒化膜マスクの端の下に酸化膜が鳥のくちばし状に食い込む現象を何と呼ぶか。
「バーズビーク」が出てくる問題(2問)
関連する用語
STI(シャロートレンチ分離) LOCOS CVD CMP FinFET RTP(急速熱処理) ウェット酸化 界面準位 可動イオン 酸化増速拡散(OED)