酸化・拡散

LOCOS(選択酸化)で、窒化膜マスクの端の下に酸化膜が鳥のくちばし状に食い込む現象を何と呼ぶか。

  1. Aディッシング
  2. Bノッチング
  3. Cバーズビーク
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正解：C. バーズビーク

LOCOSでは、窒化膜で覆った部分は酸化されませんが、酸化剤がマスクの端の下に横から拡散して酸化が進むため、鳥のくちばし(バーズビーク)のような形に酸化膜が食い込みます。これによって素子の有効な面積が減るため、微細化とともにSTIに置き換えられました。

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