バーズビーク란?
ばーずびーく
LOCOSで、窒化膜マスクの端の下に酸化膜が鳥のくちばし状に食い込む現象。素子の有効な面積を減らすため、微細化ではSTIに置き換えられた。
일본어 명칭: バーズビーク
분야: 산화와 확산
관련 용어
可動イオン 界面準位 酸窒化膜(SiON) 酸化増速拡散(OED) 熱酸化 熱拡散 Deal-Groveモデル LOCOS RTP(急速熱処理) STI(シャロートレンチ分離)
ばーずびーく
LOCOSで、窒化膜マスクの端の下に酸化膜が鳥のくちばし状に食い込む現象。素子の有効な面積を減らすため、微細化ではSTIに置き換えられた。
일본어 명칭: バーズビーク
분야: 산화와 확산
可動イオン 界面準位 酸窒化膜(SiON) 酸化増速拡散(OED) 熱酸化 熱拡散 Deal-Groveモデル LOCOS RTP(急速熱処理) STI(シャロートレンチ分離)