クリーンルーム・製造装置

クリーンルームで、粒子ではなくガス状の汚染物質(酸、アルカリ、有機物など)を指す用語はどれか。

  1. Aパーティクル汚染
  2. B分子状汚染(AMC)
  3. C静電気放電(ESD)
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正解：B. 分子状汚染(AMC)

AMC(Airborne Molecular Contamination)は、空気中に含まれる酸性・アルカリ性のガスや有機物、ドーパントなどの分子状の汚染物質です。通常のフィルタでは取り除けないため、ケミカルフィルタを使って除去します。レジストの性能やウエハ表面の状態に影響を与えます。

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