シリコンウエハ

CMOS LSI用のシリコンウエハで一般的に使われる面方位はどれか。

  1. A(111)
  2. B(100)
  3. C(211)
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正解：B. (100)

CMOS LSIには(100)面のウエハが一般的に使われます。(100)面はSiO2との界面の界面準位密度が低く、MOSトランジスタの特性が良好になるためです。(111)面は、かつてバイポーラ素子などで使われていました。

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